本申请涉及的涂膜形成剂，用于涂覆在作为掩模的ArF类光致抗蚀剂上，它利用涂膜形成剂的热收缩作用使光致抗蚀剂图案扩宽扩大，由此缩小由光致抗蚀剂的间隔划定的图案尺寸，从而在蚀刻后形成更微细的导电图案用于半导体装置。另外，本申请的涂膜形成剂还考虑了保持良好的光致抗蚀剂图案形状因素，以避免热收缩步骤中出现ArF类光致抗蚀剂的顶部并非形成矩形而变成弧形的倾向。本申请权利要求的方案即是关于涂膜形成剂的成份配比作出的限定。

　　在专利实质审查程序中，原审查部门以权利要求1-18不符合专利法第二十二条第三款有关创造性的规定为理由作出驳回决定。驳回决定引用了对比文件1，即JP2003-142381A号日本公开特许公报，公开日为 2003年5月16日。对比文件1也公开了涂膜形成剂，其涂敷在与本申请相同的ArF类光致抗蚀剂上，通过涂膜形成剂的热收缩作用使得光致抗蚀剂的图案间的间隔变小，并在该热处理时保持光致抗蚀剂图案的良好轮廓，从而当完成蚀刻以后，获得微细化的半导体图案。可见，对比文件1的技术领域和所要解决的技术问题均与本申请相同。

　　驳回决定所针对的权利要求1为：“1.一种用于图案微细化的涂膜形成剂，是一种用于按以下方式形成微细图案的涂膜形成剂：在具有光致抗蚀剂图案的基板上涂覆该涂膜形成剂，利用该涂膜的热收缩作用缩小光致抗蚀剂图案的间隔，从而形成微细图案，其特征在于，所述涂膜形成剂含有水溶性聚合物，所述水溶性聚合物为甲基丙烯酸和/或甲基丙烯酸甲酯与从构成下列聚合物的单体中选择的至少1种形成的共聚物，所述聚合物为亚烷基二醇类聚合物、纤维素类衍生物、乙烯基类聚合物、丙烯酸类聚合物、尿素类聚合物、环氧类聚合物、酰胺类聚合物、以及三聚氰胺类聚合物，其中，构成丙烯酸类聚合物的单体为甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯之外的单体，并且，甲基丙烯酸和/或甲基丙烯酸甲酯在所述水溶性聚合物中的含有比例为60～99质量％。”

　　驳回决定认为，关于权利要求1与对比文件1的区别特征“甲基丙烯酸和/或甲基丙烯酸甲酯在所述水溶性聚合物中的含有比例为60～99质量％”，对比文件1公开了丙烯酸聚合物的配比高于除其之外的其他成份构成聚合物用于涂膜形成剂，以及丙烯酸聚合物可包括聚甲基丙烯酸、聚甲基丙烯酸甲酯。基于此，本领域技术人员可通过有限次常规试验获得如权利要求1的合适的成份配比，因此权利要求1不具备创造性。

　　申请人（下称请求人）不服上述驳回决定，向专利复审委员会提出复审请求，同时未对申请文件进行修改。请求人认为，本申请的目的在于将光致抗蚀剂的图案形状保持为矩形，防止热处理时其顶部变为弧形。对比文件1涉及“良好轮廓”的微细图案形成方法，但没说明“良好轮廓”就是将光致抗蚀剂图案的形状保持为矩形、防止其顶部变为弧形。因此权利要求1具备创造性。

　　在复审程序中，专利复审委员会依法成立合议组对本案进行审查，并在复审通知书中指出，对比文件1公开了一种涂膜形成剂，其中甲基丙烯酸和/或甲基丙烯酸甲酯是构成该涂膜形成剂聚合物的主要成份，权利要求1的配比范围是本领域技术人员在对比文件1中可选的丙烯酸成份在涂膜形成剂聚合物中所占比例为66质量％的启示下可通过有限次试验得出的，因此权利要求1不具备创造性。

　　针对上述复审通知书，请求人进行了意见陈述，认为，本申请使用ArF类光致抗蚀剂时，在热收缩步骤会出现顶部变成弧形的缺陷，对比文件1没使用ArF类光致抗蚀剂，因此无法给出启示。本申请比较例1与对比文件1实施例1都使用含有丙烯酸和乙烯基吡咯烷酮的共聚物，虽然能够进行图案微细化，但其光致抗蚀剂图案的顶部都会出现弧形。因此，将对比文件1中的上述共聚物用于本申请时，不能获得本申请的技术效果。而且，对比文件1中没有公开或暗示甲基丙烯酸/聚合物的比例为特定比。

　　基于上述事实和理由，本案合议组作出第29368号复审请求审查决定。复审决定认为，对比文件1公开了：通过在具有ArF类光致抗蚀剂的基板上涂覆涂膜形成剂，利用涂膜形成剂的热收缩作用缩小光致抗蚀剂图案的间隔从而形成微细图案的方式形成微细图案的涂膜形成剂，涂膜形成剂含有水溶性聚合物，该水溶性聚合物可以是选择丙烯酸类聚合物、乙烯基类聚合物、纤维素类衍生物等中的一种或两种以上的聚合物或聚合物，其中，丙烯酸类聚合物可以是甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸、丙烯酸甲酯等的单体形成的共聚物或聚合物。

　　权利要求1与对比文件1的区别特征是“甲基丙烯酸和/或甲基丙烯酸甲酯在所述水溶性聚合物中的含有比例为60～99质量％”。

　　对此，对比文件1公开了涂膜形成剂的聚合物中优选丙烯酸聚合物的配比高于除其之外的其它构成聚合物的配比，并列举了丙烯酸聚合物可由丙烯酸、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯等单体形成的聚合物或共聚物形成。对比文件1的实施例1还公开了一种丙烯酸与乙烯基吡咯烷酮的质量比为2:1的共聚物，即丙烯酸所占比例为66质量％。为了在热缩过程中得到具有良好轮廓的光致抗蚀剂图案，本领域技术人员可通过有限次试验将形成该丙烯酸聚合物中的各个单体与形成乙烯基类聚合物等聚合物的单体采用相似的质量比形成共聚物。且该配比范围也是本领域技术人员在对比文件1基础上容易想到并可通过有限次试验得出的。因而，在对比文件1的基础上得到权利要求1的技术方案是显而易见的，权利要求1不具备创造性，不符合专利法第二十二条第三款的规定。  

　　案例评析

　　专利法第二十二条第三款规定：创造性，是指同申请日以前已有的技术相比，该发明有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型有实质性特点和进步。

　　本案在创造性判断的过程中涉及如下两方面的问题：①对比文件1公开的成份配比对于本申请所要解决的技术问题是否给出技术启示？②本领域技术人员基于对比文件1公开的众多丙烯酸类聚合物，是否认为容易通过有限次常规试验获得本申请所要求的成份配比？

　　关于①，本申请与对比文件1技术领域相同，权利要求1所要解决的技术问题是：现有技术中ArF类光致抗蚀剂的顶部形状在常规涂膜形成剂发生热缩时会由矩形变成弧形的问题。对比文件1也是用于ArF类光致抗蚀剂的涂覆光致抗蚀剂，且所公开的涂膜形成剂已能够保持光致抗蚀剂的良好轮廓，虽然不同的涂膜成份对保持光致抗蚀剂矩形形状的效果可能存在些微差异，但为获得保持光致抗蚀剂的矩形形状不变的更好效果，本领域技术人员容易想到在对比文件1的多种可选成份中选择保持更好形状的成份配比。因而对比文件1公开的各种涂膜形成剂的成份配比对于本申请给出了技术启示。

　　关于②，《审查指南》（2006版）第二部分第四章第2.2节规定，“如果发明是所属技术领域的技术人员在现有技术的基础上仅仅通过合乎逻辑的分析、推理或者有限的试验可以得到的，则该发明是显而易见的，也就不具备突出的实质性特点”。《审查指南》（2006版）第二部分第四章第2.4节规定，本领域的技术人员知晓申请日或者优先权日之前发明所属技术领域所有的普通技术知识，能够获知该领域中所有的现有技术，并且具有应用该日期之前常规实验手段的能力，但他不具有创造能力。

　　本领域技术人员已知，对比文件1中的甲基丙烯酸与丙烯酸这两种物质属于同系物，它们都兼具羧酸和烯烃的性能，而且将甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯取代丙烯酸来与乙烯基类聚合物的单体或其它单体形成聚合物均只需通过合成聚合物的常规实验手段即可实现，因而选用甲基丙烯酸取代丙烯酸作为单体来构成聚合物并不需要付出创造性劳动。对比文件1中甲基丙烯酸和/或甲基丙烯酸甲酯也是构成涂膜形成剂的主要成份，并且其实施例1的涂膜形成剂为丙烯酸与乙烯基吡咯烷酮的质量比为2:1的共聚物，即丙烯酸为66质量％。在丙烯酸这种类似物质含量的启发下，本领域技术人员在选用甲基丙烯酸合成聚合物的有限次试验中容易想到也采用相同或相似的质量比。而且，权利要求1中甲基丙烯酸和/或甲基丙烯酸甲酯所占的比例范围60～99质量％属于相对较宽的范围，实际上在基于对比文件1进行有限次试验时，选取甲基丙烯酸和/或甲基丙烯酸甲酯的质量百分比也是很容易落入上述范围内的，因而权利要求1中的比例范围是本领域技术人员在对比文件1基础上容易想到的并可通过有限次试验得出的。

　　综上，基于对比文件1对本申请涂膜形成剂的成份配比给出的技术启示，本领域技术人员在对比文件1公开的原料范围内容易想到选用与本申请相同的成份，并通过有限次常规试验得出本申请所述的配比，因而权利要求1不具备创造性。